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产品描述
材料性能
| 项目 | 规格 | 检测方法 |
| 生长方式 | CZ | -- |
| 结晶性 | 单晶 | 择优化学腐蚀法 |
| 导电类型 | P型 | P/N型测试仪 |
| 尺寸 | M6:166mm*223mm M10:182mm*247mm |
硅片自动检测设备 |
| 厚度 | 165+20/-10μm 160+20/-10μm 155+20/-10μm 150+10/-10μm |
硅片自动检测设备 |
电性能
| 项目 | 规格 | 检测方法 |
| 电阻率 | 0.4-1.1 ohm.cm | 硅片自动检测设备 |
| 少子寿命 | ≥50us | Sinton BCT-400 QSSPC准稳态光电导衰减法 Transient瞬态光电导衰减法(with injection level:1E15 cm- 3) |
| 氧含量 | ≤8E+17 at/cm3 | 傅里叶变换红外光谱仪 |
| 碳含量 | ≤5E+16 at/cm3 | 傅里叶变换红外光谱仪 |
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