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项目 规格 检测方法 生长方式 CZ -- 结晶性 单晶 择优化学腐蚀法

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产品描述

材料性能

项目 规格 检测方法
生长方式 CZ --
结晶性 单晶 择优化学腐蚀法
几何尺寸 M6:166mm*223mm
M10:182mm*247mm
硅片自动检测设备
厚度 165 ﹢20/﹣10 µm
160 ﹢20/﹣10 µm
155 ﹢20/﹣10 µm
150 ﹢10/﹣10 µm
硅片自动检测设备

电性能

项目 规格 检测方法
电阻率 0.3-2.1 ohm.cm 1-7 ohm.cm 硅片自动检测设备
少子寿命 ≥500us
≥1000us
Sinton BCT-400 QSSPC准稳态光电导衰减法
Transient瞬态光电导衰减法(with injection level:1E15 cm- 3)
氧含量 ≤8E+17 at/cm3 傅里叶变换红外光谱仪
碳含量 ≤5E+16 at/cm3 傅里叶变换红外光谱仪

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